Интерактивная лекция по эллипсометрии

Уважаемые коллеги!

28 ноября 2023 года (вторник) в 10:00 состоится интерактивная лекция кандидата физико-математических наук Швеца Василия Александровича (Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск).

Тема лекции: Эллипсометрия – метод исследования материалов, наноструктур и поверхности.

Эллипсометрия — высокочувствительный и точный поляризационно-оптический метод исследования поверхностей и границ раздела различных сред (твердых, жидких, газообразных), основанный на изучении изменения состояния поляризации света после взаимодействия его с поверхностью границ раздела этих сред. На принципах эллипсометрии построены методы чувствительных бесконтактных исследований поверхности жидкости или твердых веществ, процессов абсорбции, коррозии и другие.

План лекции

- Основные положения метода и определения. Эллипс поляризации. Измеряемые параметры.

- Из истории метода. Общие принципы эллипсометрического эксперимента.

- Моделирование исследуемых структур. Уравнение эллипсометрии. Простейшие модели для анализа эллипсометрических измерений.

- Решение обратной задачи эллипсометрии, основные трудности и методы их преодоления.

- Способы измерения эллипсометрических параметров, эллипсометрическая аппаратура, классификация эллипсометров по назначению. Приборные разработки ИФП СО РАН.

- Эллипсометрия в научных исследованиях и как средство технологического контроля. Применение эллипсометрии в физике твёрдого тела, в физике полупроводников, в оптических технологиях, в биомедицинских технологиях и др.

- Эллипсометрия сегодня и завтра: замкнутые циклы производства структур микро и наноэлектроники.

В ИХТРЭМС КНЦ РАН метод эллипсометрии применяется для исследования тонких пленок оксидов тугоплавких металлов. Измерения проводятся на современном эллипсометре фирмы A.J. Woollam Co. типа VASE (variable angle spectroscopic ellipsometr, спектроскопический эллипсометр с изменяемым углом измерений). Если кого-то заинтересует данный метод исследования, сотрудники лаборатории №35 ИХТРЭМС КНЦ РАН будут рады сотрудничеству (a.dubrovskii@ksc.ru).

Ссылка для участия в лекции: https://telemost.yandex.ru/j/99156489279771